干式真空泵如何進(jìn)行優(yōu)化選擇
干式真空泵是未來(lái)行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)，雖然目前還沒(méi)有使用，除了價(jià)格偏高之外，還有干式真空泵用戶(hù)不到位，看不到經(jīng)濟(jì)效益帶來(lái)的企業(yè)，小編這里專(zhuān)注于如何使干式真空泵優(yōu)化選擇？
有了這些不同類(lèi)型的干式真空泵，我們一直都在渴望能夠減小其物理尺寸。然而，這與真空泵的抽氣速度相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的體積成比例。小的物理尺寸意味著音量也很小。當(dāng)然，影響真空泵抽速的另一個(gè)重要因素是速度。為了使小型真空泵的抽吸速度與大型真空泵的抽吸速度一致，需要提高速度。而要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器；二是改變變速箱的比例。其中，使用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制，但容易導(dǎo)致重載下的轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變齒輪箱的齒輪比是一個(gè)非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然它只能提供單一的速度不能被控制。
現(xiàn)在，你可以看到干式真空泵有這么多不同的設(shè)計(jì)，各有各的特點(diǎn)和優(yōu)缺點(diǎn)。歷史上，使用成本一直是影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶(hù)意識(shí)到，真空泵的穩(wěn)定性也應(yīng)該被考慮在內(nèi)。因?yàn)檎婵毡靡馔忮e(cuò)誤會(huì)造成機(jī)器使用效率降低，影響晶圓的生產(chǎn)和交貨，甚至造成晶圓廢料和其他零件的加工損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)采用單級(jí)設(shè)計(jì)，因此與多級(jí)泵（如球縫，爪和組合）相比，所用零件的數(shù)量可減少多達(dá)60%，這對(duì)穩(wěn)定性和未來(lái)的維護(hù)成本來(lái)說(shuō)是一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。
總的來(lái)說(shuō)，如果用戶(hù)認(rèn)為耗電量對(duì)他來(lái)說(shuō)是重要的，那么選擇一個(gè)內(nèi)部加壓螺釘可能是一個(gè)不錯(cuò)的選擇，而氮含量對(duì)他來(lái)說(shuō)是不重要的。但總的來(lái)說(shuō)，對(duì)尾氣處理的要求越來(lái)越嚴(yán)格，減少未來(lái)使用的氮?dú)饬烤惋@得尤為重要。如果您想要處理各種各樣的半導(dǎo)體工藝，而不用一種簡(jiǎn)單的庫(kù)存控制泵來(lái)改變它們，外部壓緊螺絲是好的選擇。
根據(jù)情況，結(jié)合以上所有設(shè)計(jì)類(lèi)型的優(yōu)勢(shì)必須是理想的選擇，但還不可能。因此，用戶(hù)需要知道干泵的設(shè)計(jì)有多種不同的設(shè)計(jì)類(lèi)型，然后根據(jù)自己的工藝特點(diǎn)來(lái)了解不同類(lèi)型泵設(shè)計(jì)的影響。這種選擇可以使其使用成本縮小，并獲得更長(zhǎng)的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。
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